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价值投资研究报告摘要:

摘要:
  投资建议。http://www.hibor.com.cn【慧博投研资讯】受益于关键内资产线扩产拉动以及技术不断取得新突破,国产设备市场需求将不断增大。http://www.hibor.com.cn(慧博投研资讯)推荐设备龙头中微公司(688012.SH)及北方华创(002371.SZ)。同时清洗设备龙头盛美半导体(ACMR.O)、芯源微(688037.SH)、沈阳拓荆、华海清科、北京屹唐以及上海微电子也受益产业发展。
  关键的PVD设备主要包括硬掩膜Hard Mask PVD设备、铜互连CuBSPVD设备以及铝衬垫Al PADPVD设备三种。(1) Hard Mask PVD设备主要可实现硬掩膜低介电材料的沉积,在IC制造流程的前段(FEOL)和后段工艺(BEOL)中应用广泛。(2)CuBSPVD设备可以完成阻挡层和铜种籽层沉积,且市场规模最大占比约70%但国产化率最低,目前国产设备已经成功打破垄断。(3)Al PADPVD设备在晶圆制造最后一步使用,其在产线中占比较小,但是内资产线此类设备的国产化率较高。
  PVD设备总需求都有望进一步提升。产线中PVD设备投资额占晶圆投资设备的10%。我们预估包括长江存储、华虹系等在内的9条内资产线PVD设备需求规模可在2020年达到80亿元左右(YOY70%),内资产线国产PVD设备需求规模有望从2019年的2.3亿元提升到5.6亿元。
  PVD设备AMAT一家独大市占率超80%且过去一直垄断CuBSPVD市场,目前国内厂商CuBSPVD设备已经在存储产线打破垄断,未来潜在市场空间巨大。(1)存储器产线:北方华创开年成功中标长江存储3台CuBS(铜互连)PVD订单,成功打破AMAT垄断,成为世界上第二家掌握该技术的厂商,未来将随着产线扩产而持续渗透。(2)逻辑代工产线:逻辑芯片制造中对CuBSPVD需求量是存储器产线的4-5倍,达到月产能10万片预计需要超过40台CuBSPVD设备。目前北方华创导入进度良好,随着中芯国际、华虹系等持续扩产,国产CuBS设备潜在订单空间巨大。(3)我们根据产能规划,预计中芯国际、华虹系、合肥长鑫(一期)以及长江存储(一期)在实现达产前,对CuBSPVD设备市场需求规模总计超过40亿元。
  风险提示。设备公司新产品开发及验证进度不及预期的风险。下游产线资本支出不及预期带来的风险。中美贸易摩擦的不确定性的风险。

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